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南网科研院研发芯片级直流电场小微传感器

来源: 中电新闻网      日期:17.08.28      

  中电新闻网讯 通讯员 李敏 报道 近日,南网科研院在特高压工程技术(昆明)国家工程实验室成功测试了自主研发的芯片级直流电场小微传感器(简称MEMS 传感器)。这是国际上首次将微机电系统(MEMS)技术应用于直流输电电场测量,可广泛应用于电力行业的设备精细化设计、在线监测、电磁环境评估,以及气象部门的雷电观测预警、电动汽车驾驶舱电场检测、航空器等升空后大气环境电场监测等领域。

  与传统的场磨型传感器相比,MEMS传感器尺寸小,重量轻,仅为场磨型传感器的1‰,功耗低,仅有3毫瓦,同时由于体积小可减少畸变,大大提高测试精度。该小微传感器是南网科研院依托基础性课题《基于MEMS(Micro- Electro – Mechanical -Systems)和无线供能技术的集成直流合成电场传感技术研究》于近期成功研制出的样片。该样片通过将静电梳齿驱动和单层侧壁式感应电极结构刻蚀在300微米厚的二氧化硅晶圆上,形成5毫米*4毫米*0.3毫米的传感器芯片,以此为核心与外围电路共同封装研制构成传感器样机。

  南网科研院首次探索研发的这个芯片级小微传感器,也是国内外首次将MEMS技术应用于直流输电电场测量,可广泛应用于电力行业的设备精细化设计、在线监测、电磁环境评估,以及气象部门的雷电观测预警、电动汽车驾驶舱电场检测、航空器等升空后大气环境电场监测等领域,解决了传统测量装置精度低、可靠性差、不适用于狭窄空间测量等问题,市场前景广阔,应用价值巨大。

 

责任编辑:周小博  投稿邮箱:网上投稿

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